SUSS勻膠機 Labspin-8TT型號技術參數介紹

SUSS Labspin 8TT 勻膠機

?一、 核心產品概述?
Labspin 8TT是一款臺式旋涂機，專為處理最大200毫米圓形或150毫米方形晶圓/基片而設計。

?二、 主要特性?

• ?可調分配位置?：可根據工藝需求調整涂布液的滴落位置。

• ?支持水坑式顯影?：通過卡盤振蕩功能，可減少顯影時間。

• ?具備去邊珠功能?：可去除旋涂后基片邊緣的厚邊（邊珠）。

• ?快速更換工藝碗?：可拆卸的工藝碗便于在不同工藝間快速切換，避免交叉污染。

• ?直連式中空軸電機?：配備透明的液體分離器于真空管路中。

• ?便捷廢液管理?：前面板設有廢液瓶，便于取放和觀察廢液液位。

?三、 基本系統配置?
基本系統包含以下組件：

1. ?旋涂模塊?

2. ?控制單元?

3. ?安全玻璃制成的碗蓋?

4. ?聚丙烯制成的工藝碗?

5. ?數字真空計?

6. ?安全特性?：真空監控、蓋板開啟互鎖。

7. ?不銹鋼臺式機柜?

8. ?工具文檔光盤?（內含“EC符合性聲明"）

?四、 關鍵技術參數?

• ?電源?：115/230 VAC；60/50 Hz；5/3 A 單相。

• ?轉速?：50 - 99 rpm， 100 - 8,000 rpm（±1 rpm，使用200毫米卡盤時）。

• ?加速度?：4,000 rpm/秒。

• ?旋轉時間?：1秒至999秒。

• ?工藝配方?：200個配方，每個配方最多40個步驟。

• ?廢液瓶容量?：0.5升。

• ?排氣接口?：PG11管。

• ?機柜尺寸（寬 x 深 x 高）?：350 x 446 x 430毫米（打開蓋板時為691毫米高）。

?五、 可選卡盤列表?
文檔列出了多種真空卡盤選項，適用于不同尺寸的晶圓（R2, R3, R4, R6, R8）或無定心銷的特殊尺寸（真空區域直徑3mm, 16mm, 30mm）。所有卡盤材料均為POM（聚甲醛），符合SEMI標準。